1958年，美國德州儀器公司展示第一塊集成電路板，世界進(jìn)入集成電路時代。60多年來，集成電路飛速發(fā)展，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、航空航天、國防、軍事等領(lǐng)域，甚至進(jìn)入每一個家庭。

硅片，是制作集成電路的重要材料，對硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導(dǎo)體。半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展，拉動硅片需求增長，對硅片質(zhì)量提出更高的要求，尤其對硅拋光片的表面質(zhì)量要求。

集成電路

半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)中，須對硅片進(jìn)行嚴(yán)格清洗，清除表面的污染雜質(zhì)，防止微量污染導(dǎo)致元器件失效。硅片清洗設(shè)備在生產(chǎn)過程中會在表面產(chǎn)生顆粒和金屬雜質(zhì)污染，會嚴(yán)重影響元器件的質(zhì)量和成品率，為清除這些污染，需要使用超聲波和酸堿溶液以及超純水對硅片進(jìn)行清洗，其工藝流程為：超聲波清洗→堿洗→超聲波清洗→漂洗→酸洗→漂洗→超聲波清洗→烘干。

超聲波硅片清洗設(shè)備

硅片清洗后的廢水含有高硬度的硅片殘?jiān)约八釅A溶液，要求設(shè)備管道和閥門耐磨損、耐沖刷、耐腐蝕。

潤景陶瓷硬密封球閥的閥芯與閥座采用氧化鋁或碳化硅材料，經(jīng)1680℃或2200℃超高溫?zé)Y(jié)、精密加工而成，洛氏硬度HRA≥85，可用于鹽酸、硫酸、氫氧化鈉、海水、工業(yè)廢水等多種酸、堿及特殊介質(zhì)輸送，具有突出的耐磨損和耐腐蝕性能，能夠很好地滿足硅片清洗設(shè)備的使用要求。

潤景陶瓷硬密封球閥應(yīng)用于天津某公司硅片清洗設(shè)備

潤景陶瓷硬密封球閥應(yīng)用于張家港某公司硅片清洗設(shè)備

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